真空系统用泵的选择方法权衡

真空系统用泵的选择方法

多数搜索引擎拒绝索引第二级或第三级以下的层次 考虑某真空系统用何种真空泵，首先应根据系统的要求，其次应对该泵性能特点有详细了解，比较了各种泵的优缺点后，再决定之，这样才能选用得适当。为便于选择所要使用的真空泵，现将我国生产的各种类型真空泵总的情况归纳总结一下,简略比较它们的特性和优缺点，看来是必要的。

一、油封机械泵

现生产的2X型旋片泵均为双级，抽速为0.5~150升/秒，有全系列的产品。

滑阀泵分单级(H型)、双级(2H型)。抽速:H型为8~600升/秒;2H型为8~70升/秒。亦有成系列生产的产品。

余摆线式泵抽速可很大，体积小，目前正在试生产。

这类泵均用作获得低真空，或作高真空泵的前级泵和预抽泵。带有气镇装置的可抽除潮湿空气。但极限真空比抽干燥空气(不用气镇时)低一个数量级。泵的抽速系指进口压强在760托时之抽速，当系统压强下降时抽速亦下降，直至接近该泵的极限真空，抽速亦接近于零。其抽降系数有一定规定。

二、机械增压泵(罗茨泵)

工作压强范围10~5x托，常用范围2~5x托，抽速范围150~2000升/秒，我国已有成系列产品。这种泵最大抽速在2托~托之间，需要前级泵，不能直接向大气排气。极限真空随前级泵变化。与油增压泵相比，工作压强范围较宽，最大排气压强较高(机械增压泵10~30托，油增压泵1~2托)，返流油蒸气很少，用它抽除含有水蒸气等可凝性气体时较合适。

三、油增压泵

工作压强范围1~1x托，常用范围在0.1~1x托，抽速范围200~40000升/秒，弥补了机械泵、扩散泵在此压强范围内抽速小的缺陷。对惰性气体与其他气体有相同的抽速。

四、油扩散泵

普通油扩散泵的工作压强范围~5x托，常用范围~5x托，抽速范围20~100000升/秒，金属、玻璃结构的扩散泵均成系列生产。超高真空油扩散泵极限压强约为托，除结构与普通油扩散泵略有一点差异外，主要是工作液不同，结构材料不同，即用275硅油等作泵液，结构材料用不锈钢。新设计的超高真空泵差异就较大了。

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